日本新一代印刷電子技術(shù)研究聯(lián)盟(JAPERA)在2014年6月舉行的國際學(xué)會“SID 2014”上發(fā)表演講,,宣布利用已實(shí)現(xiàn)工藝自動化的印刷技術(shù)、在A4尺寸樹脂片材上形成了有機(jī)TFT陣列,。該技術(shù)可使量產(chǎn)時(shí)的初期成本大幅降低,,易于少量多品種生產(chǎn),。
JAPERA是由索尼、東芝,、松下,、NEC、理光,、富士膠片,、柯尼卡美能達(dá),、凸版印刷及大日本印刷等27家企業(yè)組成的技術(shù)聯(lián)盟,于2011年3月成立,。
這次發(fā)布的TFT陣列設(shè)想用作柔性顯示器或壓力感應(yīng)板等的底板,。片材為A4尺寸,TFT的間距為300μm,,精細(xì)度為85ppi,,有機(jī)TFT的總數(shù)為48萬個(gè)。
有機(jī)TFT陣列的柵極,、絕緣層,、源極、漏極,、有機(jī)半導(dǎo)體層,、通孔及信號線等,全部都是利用自動化片對片(S2S)印刷技術(shù)在樹脂片材上形成的,。布線是利用由銀納米顆粒構(gòu)成的墨水等形成的,。最高工藝溫度為180℃。
柵極線和信號線的線寬為20μm,。有機(jī)TFT的通道長度為10μm,,通道寬度為160μm。有機(jī)TFT的載流子遷移率平均值稍低,,為0.1cm2/Vs,,但電流導(dǎo)通/截止比高達(dá)106。通態(tài)電流為1μA,,偏差在10%以下,。
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